住友化学は、半導体材料事業の売上高目標として2021年度（22年3月期）に18年度比で1.5倍に拡大させる。半導体用フォトレジストや洗浄液の生産・評価体制を拡充していくほか、GaN（窒化ガリウム）エピタキシャルウエハーなど化合物半導体事業も成長分野と位置づけ、積極的な事業展開を進めていく。
EUVレジストの量産を近く開始
半導体材料が含まれる情報電子化学部門の2019年度業績は売上高が前年度比2％増の4049億円、営業利益が同4％減の251億円。偏光フィルムをはじめとするディスプレー材料が売り上げの過半以上を占めているが、近年は半導体材料への注力姿勢も鮮明にしており、能力増強を含む事業体制の強化を進めている。半導体材料は洗浄液などのプロセスケミカルのほか、フォトレジスト、化合物半導体材料などで構成される。 フォトレジストについては、最先端プロセスで需要拡大が進むEUVレジストの量産を近く開始する。これに伴う開発・評価体制強化のため、大阪工場（大阪市此花区）に新棟を建設、新規の評価装置を導入する。22年度上期の完成を目指す。 同社はフォトレジスト分野において、先端のArF液浸レジストをはじめ、KrF分野でも高い市場シェアを持つ。19年度には液浸向けレジストの生産能力増強のため、大阪工場で新プラントを建設するなど、事業拡大に努めてきた。 独自の材料設計によって顧客から高い評価を受けているEUVレジストの量産開始に伴い、クリーンルームを完備する新棟を建設し、新たな露光装置を導入する。EUVレジストの開発効率を向上させ、顧客へのレスポンスを加速するとともに品質保証体制を強化する。なお、同社では高額なEUV露光装置を導入せずに、他の光源でこれを代替している。 洗浄液については、17年11月に中国・江蘇省常州に新工場を建設すると発表。中国国内にはもともと、西安市にも洗浄液の生産拠点を有しており、常州に2カ所目となる工場を立ち上げることで、中国全土を東西からサポートできる体制が整ったという。常州新工場は19年から稼働を開始している。
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June 04, 2020 at 06:35PM
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